以金刚线取代砂浆线,大幅降低了硅片切割成本,但此切割法让硅片过于光亮,传统的酸制绒并不能对金刚线切割多晶硅片制备出低反射率的理想绒面,因而催生了现在的 “黑硅”技术。目前,黑硅技术主要分成干法制绒的离子反应法(Reactive Ion Etching,RIE)技术,以及湿法制绒的金属离子辅助腐蚀法(Metal Assisted Etching,MAE)。RIE技术因效率提升较高,然而其机台价格昂贵,生产和维护成本高不具有显著的经济价值,而且使用的SF6、Cl2属于剧毒气体对环境存在严重的危害,推广可能性不大。湿法MAE方面,虽然设备成本远低于干法制绒,但是由于多晶硅片晶向与晶粒的任意性,很难用微观方法对表面尺寸进行精准调控,进而造成后期表面钝化、色差控制等一系列难题。
最近,中心新型太阳能电池材料研究团队管自生老师课题组提出了一种新型的太阳能电池多晶黑硅制绒技术,可用于大规模推广。该项目采用利用金刚线切割多晶硅片,部分延用MAE方案,成功解决了金刚线切割多晶硅制绒问题及制绒后表面色差难题。本技术中的关键材料和辅助分子调控剂能有效模糊晶界,控制反应较温和的进行,使得制出的绒面外观均匀,色差小(图1)。该技术制备的绒面由大小约0.5-1μm左右的均匀蜂窝结构组成(图2),其反射率低,约为15-18%,优异的结构形成的高陷光绒面使得电池效率能够有限提高0.2-0.5%。该项技术的问世解决了目前金刚线切割多晶硅均匀制绒难的瓶颈问题,是晶硅太阳能电池行业的一次革命性创新。
图1 金刚线切割多晶硅片经制绒后的绒面照片
图2 金刚线切割多晶硅片制绒后的不同放大倍数下的SEM图片(倾斜45°拍摄)
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